電子級超純水設備是專門用于生產電子級超純水的設備系統。電子級超純水是一種極高純度的水，用于電子行業中的半導體制造、光伏產業、液晶顯示等高科技領域。

電子級超純水設備通常包括以下幾個主要部分：

1. 預處理系統：預處理系統用于去除水中的懸浮物、顆粒物、有機物等雜質。常見的預處理方法包括過濾、沉淀、活性炭吸附等。

2. 離子交換系統：離子交換是電子級超純水設備的核心工藝。它通過使用離子交換樹脂，將水中的陽離子和陰離子與樹脂上的交換離子發生置換反應，從而去除水中的離子。離子交換系統通常包括陽離子交換柱和陰離子交換柱。

3. 純化柱：純化柱用于進一步去除水中的溶解物質和有機物。它通常包括活性炭柱和混床柱，其中活性炭柱用于吸附有機物，混床柱用于去除溶解物質。

4. 紫外滅菌系統：紫外滅菌系統用于殺滅水中的微生物，保證水的衛生安全。它通過紫外線照射水流，破壞細菌、病毒和其他微生物的DNA結構，從而殺滅它們。

5. 電子級超濾系統：電子級超濾系統用于去除水中的微小顆粒、膠體和大分子有機物。它通過特殊的超濾膜，可以有效地將這些雜質分離出來。

6. 控制系統：控制系統用電子級超純水設備是專門用于生產電子級超純水的設備系統。電子級超純水是用于電子行業的制造過程中，如半導體、集成電路、顯示器等，對水質要求極高的純凈水。